而在三十年后,元器件的大小已经进入纳米级别,那追求的就是谁能刻录下更多的元器件了,所以晶圆才会越来越大,更大的芯片才是也是足够了。
而到了六十年代中期,中国终于制造出了第一批接触式光刻机,这项技术已经处在世界一流行列了。
到了七十年,因为大规模集成电路产业的蓬勃发展,美国人的光刻技术终于迎来的大爆发,进入到八微米工艺时代,开发出了投影光刻机等关键工艺设备技术,并在七十年代中期年建立了世界第一条十二英寸的集成电路生产线,也就是众人面前的这套四微米制程工艺。
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到了七十年,因为大规模集成电路产业的蓬勃发展,美国人的光刻技术终于迎来的大爆发,进入到八微米工艺时代,开发出了投影光刻机等关键工艺设备技术,并在七十年代中期年建立了世界第一条十二英寸的集成电路生产线,也就是众人面前的这套四微米制程工艺。
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