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第七百六十七章 伟大时刻 【求订阅】(2 / 2)

按照光刻机本来的tiáo试流程,一定要通过三次模拟实验以后才能开始进行流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡明镇。


胡明镇闻言,稍稍犹豫了片刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务,只好微微点头,“老郝,我同意执行流片测试程序。”


“好!”


郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手,“立即执行流片工程测试程序!”


随着他这一声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,做流片工序的准备工作。


芯片流片非常讲究,仅仅光刻室里就由许多道制程工艺组成。


比如说,蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、清洁激光头、激光头校准对焦……等等等等。


这些工序的jīng度要求都非常高,而且要在无尘状态cào作,不得马虎。


不但如此,光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格的规定,否则都会影响光刻硅晶圆片的jīng度,影响流片的成品率。


“老胡,这台设备我们已经测试过很多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏,所以才特意走来宽慰几句。


胡明镇闻言收回目光,朝郝宁教授颔首点头,“我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”


“是不是就像准备去参加高考一样?”站在他身旁的刘教授说起玩笑话,拿胡明镇开心。


玩笑话虽然是玩笑话,但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的一名专家,每当自己的科研项目接受论证审查时,应该都是这种心态的。


一个半小时以后,梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍,然后朝胡明镇伸出两个大拇指,“报告胡总,全国产第一台krf光刻机已经做好准备,下面要开始执行光刻制程工序,请指示。”


“开始!”


胡明镇猛然一挥手。


“嘟嘟嘟……”随着这一声令下,这台光刻机主体系统上方的报警灯开始闪烁,隔绝玻璃门开始缓缓关闭。


“好啊,终于开始了。”


“这是一个伟大的时刻!”


“我们这些人都在见证历史啊。”


看到这一幕,刘教授、董教授、单教授等人都非常激动,嘴里忍不住唠唠叨叨的说着话。


因为他们这些人跟胡明镇一样,也是第一次见证这台全国产第三代光刻机的正式执行光刻制程工艺。


这是一个值得纪念的时刻!


刘教授特意看了看自己的手表,时间是:“1997年,2月16日凌晨0点19分30秒!”


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